์๋
ํ์ธ์ ๋์ฌ๋์ฅ์ด์์ ๐ซก
์ค๋์ ๊ณ ์ถ๋ชจ์์ดํฌ๋ณ ์์๋ณผ๊ป์
๊ธ์จ ์คํ๊ฐ ์์ด๋ ์ดํดํด์ฃผ์ธ์ ^^
๋ณ์ง ๋ณ์๋ฐ์ด๋ฌ์ค์ ์ข
๋ฅ์ ๊ณํต์ ๋ฐ๋ผ์ ํน์ดํ ๋ณ์ง์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ๋ ์์ง๋ง, ์ฌ๋ฐฐํ๊ฒฝ์ด๋ ํ์ข
์ ๋ฐ๋ผ ๋ค๋ฅผ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ณธ๋ ํ๊ฐ๋ฆฌ๋ ๋ณ์ง์ ๋ํ๋ด๋ ๊ฒ๋ ์์ด ์ง๋จ์ ๊ฒฐ์ฝ ์ฝ์ง ์๋ค. AMV๋ ๋ชจ์์ดํฌ ์ฆ์ธ๋ฅผ ๋ณด์ด๋ ํฌ๊ธฐ์์ ๋ถ๋ฆฌ๋๋ค. CM\V์์๋ ์์ ๋ชจ์์ดํฌ๊ฐ ์๊ธฐ๊ฑฐ๋, ๋ฐ์ด๋ฌ์ค์ ๊ณํต์ด๋ ํ๊ฒฝ์กฐ๊ฑด์ ๋ฐ๋ผ์ ์์ด๋ ๋ถ์ง์ ๊ดด์ ๊ฐ ์๊ธฐ๊ณ ์์ด ๋จ์ด์ง ์๋ ์๋ค. ๋์ค์ ๋ณ๋ ํฌ๊ธฐ๋ ์์ํด์ง๊ณ ์์ ์ํํ๋์ด ๋ฒ๋ค์ ์ฆ์์ ๋ณด์ธ๋ค. ์ด๋งค์ ์ด์ ๋๋ฐ์์ ๋ฅ๊ทผ ๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธฐ๊ธฐ๋ ํ๋ค. BBWV ๋ฐ CMMV์ ๋ณ์ง์ CMV๋ณด๋ค ์ฝํ๊ณ ์์ ๊ฐ๋ฒผ์ด ๋ชจ์์ดํฌ๋ ๋๋ฐ์์ ์์ ์ ๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธด๋ค. BBWV์์๋ ์ค๊ธฐ์ ๊ฐ๋ฒผ์ด ๊ดด์ ๊ฐ ์๊ธฐ๋ ๊ฒฝ์ฐ๋ ์๋ค. BBWV ๋ฐ์
๊ณ์์๋ ์์ ๋๋ ทํ ๋๋ฐ์์ ์ ๋ฌด๋ฌ๋ ๋ฅ๊ทผ ๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธฐ๊ณ ์ด๋งค์๋ ๋๋ฐ์์ ๋ฌด๋ฌ๋ ๋ฅ๊ทผ ๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธด๋ค. PVX์์๋ ์์ ๊ดด์ ๋ฅผ ๋๋ฐํ๋ ์ฌํ ๋ชจ์์ดํฌ๊ฐ ์๊ธฐ๋ฉฐ, ๋๋ก๋ ํ๋ฆฟํ ๋๋ฐ ๊ฐ์์ ๋ฅ๊ทผ ๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธด๋ค. PVY์์๋ ์์ ๋๋ จ์ ์ ๋ฌด๋ฌ๋ ๋๋ฐ ์ผ๋ฃฉ ๋ชจ์์ดํฌ๊ฐ ์๊ธฐ๊ณ ์ค๊ธฐ๋ ์ด๋งค์๋ ๋๋ฐ์ ์ค๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธด๋ค. BBWV์ ์ค๋ณต๊ฐ์ผ ๋๋ฉด ์ค๊ธฐ์ ์ฌํ ๊ดด์ ๊ฐ ์๊ธฐ๊ณ ๊ทน๋จ์ ์ธ ๊ฒฐ์ค ์ฅ์ ๋ฅผ ๋ณด์ธ๋ค. TMV์์๋ ์ฒ์์ ๋์จ ์์์ด ๋๋ ๊ฒ ๋๊ณ ๊ณง ์์ฃผ๊ฐ์์ ๊ดด์ ์ ๋ฌด๋๊ฐ ์๊ธฐ๋ฉฐ ์ฌํ ๋๋ ๋จ์ด์ง๋ค. ์ด๋ฆฐ ๋ถ์ง๋ ์ฑ์ํ ์์ ์์๋ฃจ์๋ ๊ดด์ ์ ๋ฌด๋๊ฐ ์๊ธด๋ค. ์ด๋งค๋ ๋๋ฐ์์ผ๋ก ๋ณํ๊ฑฐ๋ ํน์ ๊ดด์ ์ ๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธฐ๋ฉฐ ๋จ์ด์ง๊ธฐ ์ฝ๋ค. TMV์์๋ ์์์ด ๋๋ จ์์ผ๋ก ๋ณํ ํ์ ๋๋ ทํ ๋ชจ์์ดํฌ๋ก ๋ฐ๋๊ณ , ์ด๋งค์๋ ๋๋ฐ์ ๋ฌด๋ฌ๋ ์ค๋ฌด๋ฌ๊ฐ ์๊ธฐ๋ฉฐ ๊ธฐํ์ด ๋ณด์ด๊ธฐ๋ ํ๋ค.
AMV ํฌ๊ธฐ๋ 56 x 16nm (B), 43x16nm (M), 35x16nm (Tb), 30x16nm (Ta)์ 4์ข
์ ์
์๋ก ์ด๋ฃจ์ด์ง ๋ง๋ ๋ชจ์์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก ๋ด์ดํ๊ณ 60~65C, ํฌ์ํ๊ณ 10-5~106, ๋ณด์กดํ๊ณ 3~5์ผ์ด๋ค. BBWV : ์ง๋ฆ 25nm์ ๊ณต ๋ชจ์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก 2, 3๊ฐ์ ๊ณํต์ด ์๋ค. ๋ด์ดํ๊ณ๋ 60~70C, ํฌ์ํ๊ณ๋ 10-4~10-, ๋ณด์กดํ๊ณ๋ 2~3์ผ์ด๋ค. ๊ธฐ์ฃผ๋ฒ์๊ฐ ๋์ด ์๊ธ์น, ์๋, ์ฝฉ ์ธ์, ํ์ด๋ ์ก์ด ๋ฑ์ ๊ธฐ์์ฑ์ ๋ณด์ธ๋ค. TAV :์ง๋ฆ 25~30nm์ ๊ณต ๋ชจ์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก ๋ด์ดํ๊ณ 55~60C, ํฌ์ํ๊ณ 102~10, ๋ณด์กดํ๊ณ 18.5"C์์ 2~3์ผ์ด๋ค. ๊ตญํ๊ณผ, ๊ฐ์ง๊ณผ ์ธ์ ๋ค๋ฅธ ์๋ฌผ์ ๋น๊ต์ ๋์ ๊ธฐ์์ฑ์ ๋ณด์ด์ง๋ง, ๋ณ์ง์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ฐ๋ณ๊ฑฐ๋ ์๋ค. CMV:์ง๋ฅผ 28~30nm์๊ณต ๋ชจ์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก ๋ช ๊ฐ์ง ๊ณํต์ด ์๋ค. ๋ด์ดํ๊ณ 55~75C, ํฌ์ํ๊ณ 104~105, ๋ณด์กดํ๊ณ๋ ์ค์จ์์ 2-8์ผ์ด๋ค. ๊ธฐ์ฃผ๋ฒ์๊ฐ ๋งค์ฐ ๋์ด ๊ฐ์ง๊ณผ, ๋ฐ๊ณผ, ์ญ์ํ๊ณผ ์ธ์ ๋ง์ ์๋ฌผ์ ๊ฐ์ผํ๊ณ 45๊ณผ 190์ข
์ ์๋ฌผ์์ ๊ฒ์ถ๋๊ณ ์๋ค. PVX : 515x13nm์ ์ค๋ชจ์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก ๋ด์ดํ๊ณ 68~75"C, ํฌ์ํ๊ณ 10-5~10 6, ๋ณด์กดํ๊ณ๋ 1๋
์ด์์ด๋ค. ๊ธฐ์ฃผ๋ฒ์๋ ๋ช
์์ฃผ๊ณผ, ๋น๋ฆ๊ณผ, ๋ฒํ์ด๊ณผ ๋ฑ์ด๋ค. PVY: 730x11nm์ ์ค ๋ชจ์์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก ๋ด์ดํ๊ณ 52~62C, ํฌ์ํ๊ณ 10 -2~10*, ๋ณด์กดํ๊ณ๋ ์ค์จ์์ 1~2์ผ์ด๋ค. ๊ธฐ์ฃผ๋ฒ์๋ ์ข์ ๊ฐ์ง๊ณผ, ๋ช
์์ฃผ๊ณผ์ ์ผ๋ถ ์๋ฌผ์ ๊ธฐ์์ฑ์ ๋ณด์ธ๋ค. TMV: 300x18nm, ๋ง๋๋ชจ์์ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ก ๋ด์ดํ๊ณ 88~93C, ํฌ์ํ๊ณ 10 6~10 ', ๋ณด์กดํ๊ณ๋ 1๋
์ด์์ด๋ค. ๋ณธ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค์๋ ๋ช ๊ฐ์ง ๊ณํต์ด ์์ง๋ง ํผ๋ง์์๋ ํ ๋งํ ๊ณ, ๋ณดํต๊ณ, ๊ณ ์ถ๊ณ๊ฐ ์ค์ํ๋ค. ํ ๋งํ ๊ณ๋ ํ ๋งํ ์, ๋ณดํต๊ณ๋ ๋ด๋ฐฐ์ ๋ํ ๊ธฐ์์ฑ์ด ๊ฐํ๋ค
์ ์ผ AMV, BBWV, CMV, TAV, PVY๋ ์ง๋ง๋ฌผ๋ฅ์ ์ํด์ ๋น ์์์ ์ผ๋ก ์ ๋ฐ๋๋ค. ์ฆ์ก์ ์ข
์ ์ฝ์ง๋ง, ์ ์ด์ ์ผ์ ๋๋ฌผ๊ณ ์ข
์ ๋ฐ ํ ์์ ์ผ์ ํ์ง ์๋๋ค. PVX์ ์ ์ผ์์ ๊ฐ์ ๋ฑ์ ๋ณ๋ ์๋ฌผ๋ก ์๊ฐ๋์ง๋ง, TMV์ 1์ฐจ์ ์ผ์ ์ฃผ๋ก ๋ณด๋
ํ ์ข
์ ๋ฐ ์ค์ผ๋ ํ ์์์ ์ผ์ด๋๋ค. ๋ ๋ฐ์ด๋ฌ์ค ๋ชจ๋ ๋ฐ๋ณ ํ๋ ๋ณ๋ ํฌ๊ธฐ์์ ์ ์ด์ด๋ ํ์ ์ํ์์
๋ฑ์ ์ํด์ ์ฝ๊ฒ ์ฆ์ก์ ์ผ ํ๋ค.
๋ฐฉ์ ์ด๋ค ๋ฐ์ด๋ฌ์ค๋ ์ข
์์ ์ผ์ ํ๊ฑฐ๋ ์ง๋ง๋ฌผ, ์ด์ฑ๋ฒ๋ ๋ฑ์ด ๋งค๊ฐํ๋ฏ๋ก ์ด๋ค ๋งค๊ฐ์ถฉ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ค์ฌ์๋ณ ๋ฐ์์ ๋ฎ์ถ๋ค. ๋ฐ์ด๋ฌ์ค์ ๊ฑธ๋ฆฌ์ง ์๋ ์ ๋ฌ๋ฅผ ์ ํํ์ฌ ์ฌ๋ฐฐํ๋ค. ๋ณ์ด ๋ฐ์ํ์์ ๊ฒฝ์ฐ ์ฆ์ ์ ๊ฑฐํ์ฌ ์๊ฐํ๋ค. ์ค์ผํ ์, ์, ์, ๋๊ธฐ๊ตฌ๋ค์ ์ค์ผ๋ฌผ์ ์ ๊ฑฐํ๋ค. ์ด์, ์ ์, ์ํ ๋ฑ์ ์์
์์ ์ ์ผ์ด ๋๋ฏ๋ก ์ฃผ์ํ์ฌ์ผ ํ๋ฉฐ ์์
์ ์๋ ๋ฐ๋์ ์์ ๋ฆ์์ผ ํ๋ค. ์ ํญ์ฑ ํ์ข
์ ์ฌ๋ฐฐํ๋ค.
์ข์์52ยท๋๊ธ29